製品概要
モデル 5090 薄膜水素トランスミッターは FPC パッケージを採用しています。パッケージ後、センサーの厚さは 0.6 んん 未満、FPC の長さは約 95 cm で、設置スペースが限られている環境に特に適しています。センサーチップは、当社独自の H2SENSE™ ソリッドステート パッド 合金水素検出技術に基づいています。これは、バックグラウンドガスの影響を受ける他の水素センサーでよく見られる不正確な測定や誤報の問題を完全に排除できる、真の水素専用技術です。ソリッドステート パッド 合金水素センサーは、混合ガス中の水素分圧を測定します。動作中に H₂ を消費せず、O₂ の参加も必要としないため、空気、N₂、不活性ガスなど、さまざまなバックグラウンドガス中の H₂ 濃度を検出できます。
モデル 5090薄膜水素トランスミッターのセンサーチップは、Pd合金薄膜抵抗構造をベースとしています。成熟した安定したPd合金材料ドーピングシステム、合金薄膜製造プロセス、特殊な複合薄膜製造技術といった重要なプロセス技術を採用しています。これらの技術により、水素センサーは優れた長期安定性を実現し、定期的なメンテナンスが不要になり、運用コストを削減します。このセンサーは、ppmレベルから100%純水素までの水素濃度を測定でき、測定範囲はユーザーのアプリケーション要件に応じて選択・カスタマイズ可能です。

