製品概要
モデル 5050薄膜水素センサーは分割構造を採用しています。センサーチップは当社独自のH2SENSE™固体パラジウム合金水素検知技術は、他の水素センサーでよく見られるバックグラウンドガスの影響を受けやすい不正確な測定や誤報の問題を完全に解消できる、真の水素特化技術です。固体パラジウム合金水素センサーは、混合ガス中の水素分圧を測定します。動作中に水素を消費せず、酸素の関与も必要としないため、空気、窒素、不活性ガスなど、様々なバックグラウンドガス中の水素濃度を検知できます。
MODEL5050分割型水素センサーのセンサーチップは、Pd合金薄膜抵抗構造をベースとしています。成熟した安定したPd合金材料ドーピングシステム、合金薄膜製造プロセス、特殊な複合薄膜製造技術といった重要なプロセス技術を採用しています。これらの技術により、水素センサーは優れた長期安定性を実現し、定期的なメンテナンスフリーと運用コストの削減を実現します。このセンサーは、ppmレベルから100%純水素までの水素濃度を測定できます。
